六氟乙酰丙酮钯(II)

属性

描述

应用	用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备。
别名	二(六氟乙酰丙酮)钯;1,1,1,5,5,5-六氟乙酰丙酮钯(II);Palladium bis(1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentanedionate)

标识符号	GHS07
信号词	Warning
危害声明	H315,H319,H335
警示性声明	P261,P305+P351+P338
个人防护设备	dust mask type N95 (US), Eyeshields, Gloves
WGK德国	3
风险声明 (欧洲)	R36/37/38
安全声明（欧洲）	S26;S36
危害码（欧洲）	Xi