您的实验室一定需要它------新型扫描电镜样品制备系统

2016-7-26 10:43

您是否为了一个EBSD样品而泡在实验室一整天，但最终还是达不到EBSD样品的标定率而苦恼？

您是否为了一个截面样品制备而小心翼翼，但最终还是无法看到截面样品信息而苦恼？

您是否还为了一个孔隙结构样品被机械抛光操作时填满孔隙结构，而无法判定样品的真实信息而苦恼？

如果是，那您一定需要它：

它就是GATAN Ilion II 697氩离子束抛光系统，该款设备是在Gatan公司经典的691离子减薄仪技术上发展而来。它的问世改变了此前人们用手动或机械研磨的方法对样品进行研磨抛光的局限性。利用氩离子精密抛光装置，可以获得平滑的截面和平面，而不会对样品造成机械损害，是扫描电镜样品制备的新型手段，目前已经广泛应用于全球各大高校科研院所。

可利用 IlionII 697 进行抛光加工的材料种类十分广泛，包括由多元素组成的试样，以及

具有不同的机械硬度、尺寸和物理特性的合金、半导体材料、聚合物和矿物等。

具体应用领域有：

• EBSD 样品

• 光伏、半导体

• 金属(氧化物, 合金)

• 陶瓷

• 地质样品，油页岩

• 高分子，聚合物

• CL

典型应用案例：

一、 EBSD样品制备

氩离子束抛光是利用高电流密度的氩离子束对样品进行减薄，氩离子相对镓离子来说非常轻，产生的应力层、非晶层非常薄，可以避免由于制样方法对实验数据产生的误导，同时由于晶格畸变较小，可以提高 EBSD的标定率，降低标定参数，从而有效提高标定效率，节约时间。以下三幅图片试样采用 Ilion II在 1 kV的条件下进行抛光后，在 20 kV条件下得到的碳化钨 /钴样品的 EBSD结果，其中的钴没有发生 FCC到 HCP的相变。（照片由英国曼切斯特大学 A Gholinia博士提供）。