SEMICON CHINA

展位号：N1馆1671

慕尼黑上海光博会

展位号：W4馆4168

展馆平面图

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部分参展设备

Filmetrics F50膜厚测量仪

F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台，可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度，大约2点/秒。

相关应用：半导体制造（光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨）；LCD 液晶显示器（聚酰亚胺、ITO 透明导电膜）；光学镀膜（硬涂层、抗反射层）；MEMS 微机电系统（光刻胶、硅系膜层）。

Bowman XRF镀层测厚仪

在高度不超过9英寸的工件上具有优于同类产品的 12 x12英寸可测量区域。自动多准直器允许选择光斑尺寸，以适应各种特征尺寸;可变焦摄像头允许在 0.25 英寸到3.5 英寸的焦距范围内进行测量。

相关应用：材料折射率消光系数测试；硅片自然氧化层厚度测试；光刻胶光学常数测试;半导体后段封装硅上金属厚度测量

Lumina AT2缺陷检测仪

薄膜缺陷检测仪实现亚纳米薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像。

相关应用：所有缺陷类型；薄厚基板；透明和不透明基板；电介质涂层；金属涂层；键合硅片；开发和在线生产

更多机型现场等您体验。。。

我们深耕薄膜测量行业十多年，不论您在薄膜测量方面有什么问题，我们的技术专家都可以为您提供有价值的建议或解决方案。欢迎来电，我们很高兴与您讨论您的应用问题。

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