上海伯东德国 Pfeiffer 残气质谱仪 RGA 应用于角分辨光电子能谱仪 XPS光电子能谱仪（photoelectron spectrograph）利用光电效应测出光电子的动能及其数量的关系，由此来判断样品表面各种元素含量，并可分析固、液、气样品中除氢以外的一切元素。角分辨 XPS 应用于各种固体材料表面（界面）的元素及化学态的定性、半定量、结构分析及化学

键研究。使用上海伯东德国Pfeiffer残气分析质谱 QMG，对XPS系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析，并针对残余气体进行除气措施，从而达到清洁样品表面，减少空气分子与标的电子的碰撞，最终得到金属材料表面的元素及结构分析信息。上海伯东客户案例：上海某大学角分辨光电子能谱仪+Pfeiffer残余气体分析质谱应用试验条件：金属样品厚度：2nm主真空室：1×10-10 Torr分辨率：0.8cV电子枪束斑：75nm灵敏度：80KCPS信噪比：大于70:1角分辨：5°～90°灵敏度：255 KCPS A1/Mg双阳极靶能量分辨率：0.3% 位置灵敏检测器（PSD）  角分辨光电子能谱仪配套上海伯东德国 Pfeiffer QMG 质谱分析仪配置:1.测量范围:1-300amu2.检测方式:Faraday/C-SEM3.加热温度:1-200℃4.离子源:开放式离子源Pfeiffer 残余气体质谱分析仪与友厂同级别质谱分析仪相比，更适用于移动应用，并且提供高解析度和灵敏度，可对气体进行定性和定量分析，应用范围广泛，从大气压力到高真空均可使用。

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