模块化检漏仪应用于电子元器件检漏系统上海伯东某生产氦气检漏系统公司, 其研发的小型氦检漏系统内部集成伯东 Pfeiffer 检漏模块 ASI 35 用于电子元器件检漏. 真空模式下, 漏率 5x10-7 mbar l/s.电子元器件检漏系统功能定制腔体内放入经过压氦的电子元器件, 真空模式下, 测试元件的整体漏率值.

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标签：模块化检漏仪，电子元器件检漏系统