氦质谱检漏仪电子束光刻机检漏上海伯东客户某光刻机生产商, 生产的电子束光刻机 Electron Beam Lithography System 最大能容纳 300mmφ 的晶圆片和 6英寸的掩模版, 适合纳米压印, 光子器件, 通信设备等多个领域的研发及生产. 经过伯东推荐采购氦质谱检漏仪 ASM 310 用于电子束光刻机腔体检漏.

电子束光刻机腔体需要检漏电子束光刻机内部腔体使用分子泵, 离子泵抽真空, 通过全量程真空计 PKR 251 监测真空度, 腔体需要维持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔体有漏导致真空度不够, 会影响设备性能, 因此需要对整个腔体进行泄漏检测.电子束光刻机腔体检漏方法上海伯东推荐客户使用前级泵为干泵的便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 进行泄漏检测.当真空度达到 15 hPa 时, 在腔体周围怀疑有漏的位置吹扫一定量的氦气, 同时启动便携式检漏仪 ASM 310 开始检漏, 真空模式下, 设置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有检测到实际漏率大于设定值, 检漏仪会报警提醒同时操作界面显示漏率值, 从而可以定位定量判断腔体泄漏位置, 完成整个腔体的泄漏检测.便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品对氦气的最小检测漏率真空模式 5E-13 Pa m3/s吸枪模式 1E-8 Pa m3/s对氦气的抽气速度 1.1 l/s

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电子束光刻机腔体需要检漏电子束光刻机内部腔体使用分子泵, 离子泵抽真空, 通过全量程真空计 PKR 251 监测真空度, 腔体需要维持真空度在 10-9 Pa 至 10-11 Pa, 如果腔体有漏导致真空度不够, 会影响设备性能, 因此需要对整个腔体进行泄漏检测.电子束光刻机腔体检漏方法上海伯东推荐客户使用前级泵为干泵的便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 进行泄漏检测.当真空度达到 15 hPa 时, 在腔体周围怀疑有漏的位置吹扫一定量的氦气, 同时启动便携式检漏仪 ASM 310 开始检漏, 真空模式下, 设置漏率值 1x10-13 Pa m3/s, 若有检测到实际漏率大于设定值, 检漏仪会报警提醒同时操作界面显示漏率值, 从而可以定位定量判断腔体泄漏位置, 完成整个腔体的泄漏检测.便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品对氦气的最小检测漏率真空模式 5E-13 Pa m3/s吸枪模式 1E-8 Pa m3/s对氦气的抽气速度 1.1 l/s

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