江苏大学的磁控溅射系统成功应用六周年，那诺-马斯特中国有限公司正式表达祝贺。自验收开始，截止目前为止，该磁控溅射系统运行稳定正常。

该系统给用户提供了RF溅射能力和DC直流溅射能力，可以支持金属溅射、导磁材料溅射，以及介质材料溅射和序列溅射，和反应溅射。该系统在客户的微纳工艺的应用方面提供了重要的作用，系统展现出快速溅射能力、高度的均匀性、高重复性和稳定性。

NANO-MASTER那诺-马斯特的磁控溅射系统型号包含NSC-1000型单金属靶材的台式溅射系统，不但可用于电镜制备，也可以用于常规的金属溅射。NSC-3000为可支持最多4个靶的DC溅射或RF溅射的台式系统。NSC-3500为紧凑型独立式磁控溅射系统，可以支持金属材料的DC溅射，介质材料的RF溅射，以及脉冲DC溅射等应用。NSC-4000型为独立式磁控溅射系统，可支持共溅射等能力的扩展。

领域：电子/电器/半导体

标签：磁控溅射系统，磁控溅射，磁控溅射设备