扫描电镜（SEM）用电子束扫描样品表面，收集携带电子束与样品相互作用信息的反射电子。如果样品仓内残留有空气，空气原子与电子束相互作用，部分偏转电子，并在图像上增加噪声。

 

这就是扫描电镜成像前必须达到一定真空度的原因。但是，虽然高的真空对于准确的分析来说是至关重要的，但它也会对某些类型的材料成像产生负面影响，例如含有水分的样品。阅读这篇博客，了解如何在扫描电镜的真空环境中观察对真空敏感的样品，并保持样品结构完整。

 

SEM中的真空度

首先，我们来谈谈扫描电镜（SEM）中的真空度。真空度（或压力值）可由操作者控制。对于台式扫描电镜，真空度在1 - 10帕斯卡之间。用于比较的是：大气压是100000帕斯卡。

当压力降到大气压值以下时，所有液体都会发生相变。因此所有扫描电镜（SEM）的内部必须采用不受高真空度影响的特殊材料。

 

有些样品会受到影响，并且它们的行为也会有所不同：最敏感的是含水样品。

 

有内部孔隙的样品，或者是由含水材料制成的样品，都可能会受到影响，因为它们会在成像过程中释放出气体。

 

任何从样品中释放出的气体都是成像工具的风险，因为它可能会污染镜筒或探测器，损害仪器的功能，或影响图像质量。出于这个原因，飞纳台式扫描电镜（Phenom Desktop SEM）通常配备一个保护程序，当检测到突然或意外增加的压力水平时，会弹出样品。