赛默飞（原FEI）Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜参数指标

产品参数：

发射源：预对中钨灯丝

分辨率：
3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
放大倍数：5 ~ 1,000,000×（宝丽来相纸放大）
加速电压范围：200V ~ 30kV
探针电流范围：最高可达到2μA，连续可调
X-Ray工作距离：10mm  EDS检出角35°
样品室：内宽280mm，端口10个
样品台：五轴全自动马达驱动
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15º~90º,
☆ R=360º （连续旋转）

☆ 最大样品承重 10 kg

探测器系统：

☆ 高真空二次电子探测器ETD
☆ 可伸缩式背散射探测器BSED
☆ 样品室内红外相机CCD
☆ 图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
☆ 具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器
控制系统：
☆ 操作系统：Windows 10
☆ 图像显示：24寸LCD显示器，最高显示分辨率1920×1200
☆ 支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像
☆ 软件支持Undo和Redo功能