Spectra Ultra S/TEM扫描透射电子显微镜参数指标

探针已校正

• 能量散布：0.2–0.3 eV

• 信息限制：<100 pm

• STEM 分辨率：<50 pm（30 kV 下 125 pm）

探针+图像校正 X-FEG/Mono                                 

• 能量散布：0.2–0.3 eV

• 信息限制：<60 pm

• STEM 分辨率：300kV 下探针电流 >30pA 时<50 pm
  STEM 分辨率：30kV 下探针电流 >20pA 时<125 pm

探针+图像校正 X-FEG/UltiMono                                       

• 能量散布：0.05 eV（60kV 下 0.025 eV）

• 信息限制：<60 pm

• STEM 分辨率：300kV 下探针电流 >30pA 时<50 pm
  STEM 分辨率：30kV 下探针电流 >20pA 时<125pm

探针+图像校正 X-CFEG

• 能量散布：0.4 eV

• 信息限制：<70 pm

• STEM 分辨率：探针电流 >100pA 时<50 pm（30 kV 下 <136 pm）

离子源

• X-FEG Mono：高亮度肖特基场发射枪和单色器，可调谐能量分辨率范围为 1-<0.2 eV

• X-FEG UltiMono：高亮度肖特基场发射枪，配备超稳定单色器和加速电压，可调谐能量分辨率范围为 1eV-<0.05eV（60kV 下 <0.025eV）

• X-CFEG：超高亮度，总射束电流为 14nA 时固有能量分辨率<0.4 eV，总射束电流为 2nA 时分辨率 <0.3eV

• 30 – 300 kV 的灵活高张力范围