全新上照式设计，保留原有四焦技术同时，搭载全自动大行程移动平台和影像识别功能，既能检测纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区RoHS检测及全元素成分分析，无论是一个还是一批样测试都能实现精准、快速、高效
可编程自动平台可达600mm*600mm*30mm（高度可定制60mm）
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X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪）
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