参考招标参数：

招标编号：OITC-G190260488-1 第 2 包：生物型高通量扫描电子显微镜

生物型高通量场发射扫描电子显微镜

1. 工作条件：

1.1 见总则第 3 条。

1.2 环境温度 15 ~ 25℃。

2. 设备用途：

2.1 观察生物样品的微观组织结构。

3. 技术规格：

3.1 电子光学系统

*3.1.1 分辨率：

低电压模式：≤2.0nm(1kv)

高电压模式：≤1.5nm(5kv)

3.1.2 加速电压：最低：≤0.1kv

 最高：≥10kv

3.1.3 放大倍数：最大：≥50 万倍

*3.1.4 电子束流：50pA 至 50nA

*3.1.5 电子枪: Schottky 型热场发射器

#3.1.6 配备静电消隐器（Blanker）

3.2 样品室

3.2.1 内径≥400mm

3.2.2 预抽样品室时间不超过 1 分钟

#3.2.3 样品移动：X: ≥150mm

 Y: ≥150mm

 Z: ≥10mm

#3.2.4 重复定位精度：≤±150nm

#3.2.5 光学导航精度：≤10um

3.3 探测器

#3.3.1 中心二次电子探测器-Inlens SE：带宽≥50MHz

#3.3.2 背散射电子探测器-BSE：带宽≥50MHz

3.4 数字图像处理器

#3.4.1 最快电子驻留时间：≤10ns

#3.4.2 最大图像解析度：≥24k ×24k 像素

#3.4.3 图像采集速率：≥100M 像素/秒（单通道）

3.4.4 采集方式：双通道同步采集

3.5 数据处理系统

3.5.1 CPU: Intel Xeon E5 及以上

3.5.2 内存：32G

3.5.3 硬盘：容量 100T

3.5.4 显卡：显存≥12G，位宽≥384bit

3.5.5 光驱：可读写式光驱

3.5.6 显示器：34 英寸纯屏显示器及以上

3.6 真空系统

3.6.1 涡轮分子泵：>300 L/s

3.6.2 离子泵（IGP）：>20 L/s

3.6.3 真空度：主样品室极限真空：<2.0x10-6mbar

 真空预抽室极限真空：<5.0x10-6mbar

3.7 图像增强功能软件

3.7.1 测量软件

3.7.2 全自动图像采集软件

3.7.3 全自动图像优化软件

4. 产品配置要求：

4.1 场发射高通量扫描电子显微镜 1 台

4.2 备件

4.2.1 场发射灯丝 2 个

4.2.2 固定光阑 2 个

#4.2.3 UPS 不间断电源

5. 选购附件、备件及消耗品：

无

6. 技术文件：

6.1 一套中文或英文说明书在合同签定后 45 天内提供给用户。另一套完整的中文或英文说明书、维修说明书、线路图随仪器包装提供给用户。