采用PFC流控系统
精确控制抽真空和惰气回填的速率,为用户完美解决抽真空时样品倒吸的痛点问题,并有效提升样品脱气效率。
iBox 26性能指标
iBox 26系列及其技术指标
iBox26
iBox26T
脱气端口
6个
6个
脱气温度范围
环境温度至500℃
环境温度至600℃
升温速度
0-50℃/分钟
升温精度
0.1℃控温增量,可进行精准程序升温设定
温度显示精度
0.01℃
压力传感器
1000 Torr
1000 Torr + 10 Torr
真空泵系统
机械泵
机械泵+分子泵(可选)
极限真空
3.75x10ˉ⁴mmHg(机械泵)
5x10ˉ¹⁰mmHg (分子泵)