全自动智能脱气站iBox 26参数指标

采用PFC流控系统

精确控制抽真空和惰气回填的速率，为用户完美解决抽真空时样品倒吸的痛点问题，并有效提升样品脱气效率。

iBox 26性能指标

iBox 26系列及其技术指标

• iBox26

  iBox26T

  
  

• 脱气端口

  6个

  6个

  
  

• 脱气温度范围

  环境温度至500℃

  环境温度至600℃

  
  

• 升温速度

  0-50℃/分钟

  
  

• 升温精度

  0.1℃控温增量，可进行精准程序升温设定

  
  

• 温度显示精度

  0.01℃

  
  

• 压力传感器

  1000 Torr

  1000 Torr + 10 Torr

  
  

• 真空泵系统

  机械泵

  机械泵+分子泵（可选）

  
  

• 极限真空

  3.75x10ˉ⁴mmHg（机械泵）

  5x10ˉ¹⁰mmHg （分子泵）