台阶仪

ET150是一款最大可测6英寸样品的台阶仪，采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式，有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计，起到了良好的自隔震作用。这些都使其拥有极高的分辨率和极佳的重复性！ET150具备了台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析技术。低测定力模式不仅能够避免划伤样品，也能对于软性样品进行测试，适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。

KOSAKA LAB ET 150 

微细形状测定机（探针接触式台阶仪） 

株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立的公司，也是日本第一家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点： 

KOSAKA ET 150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET 150配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。