Apreo 2 SEM场发射扫...

Apreo 2 SEM场发射扫描电子显微镜技术特点

参考成交价格: 300~400万元[人民币]
技术特点

【技术特点】-- Apreo 2 SEM场发射扫描电子显微镜

具备优异性能的SEM,适用于纳米及亚纳米级别的空间分辨率应用

纳秒级的T1闪烁体探测器,获取卓越的背散射电子衬度图像

大工作距离(10mm)下具备出色的空间分辨率


Apreo 2 SEM场发射扫描电镜

一款具备优异性能的多功能型成像及分析的扫描电镜

材料表征

先进的材料表征实验室需要使用最新技术,且将分析仪器(包括 SEM扫描电镜)的性能发挥到极致。这些实验室中绝大多数都是多用户使用,且不同用户的经验水平不尽相同,同时,扫描电镜的上机时间非常宝贵,因此必须避免在维护、对中、培训或图像优化上花费过多时间。

全新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 可进行高分辨率成像,并且可以扩展至材料的元素分析。凭借独特的实时元素成像功能,即 Thermo Scientific ColorSEM 技术,可以通过最直观的界面实时获取元素组分信息。ColorSEM 技术消除了与典型 EDS联用的所有复杂操作,为您提供前所未有的快捷和易用性。

凭借 Thermo Scientific SmartAlign 技术(软件自动光学对中),Apreo 2 SEM 对用户和实验室管理人员的要求非常低。此外,Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技术,可实现自动电子束对中、消像散和聚焦等操作,这项技术的推出意味着即使是扫描电镜的新手用户也可以轻松获得 Apreo 2 SEM 的极致性能。此外,Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距离具备 1 纳米分辨率的 SEM。大的工作距离不再意味着牺牲成像效果,使用 Apreo 2 SEM,任何人都能容易地获得出色的结果。


场发射扫描电镜Apreo SEM的主要特点


优异的空间分辨率及衬度

高分辨率——对于大多数样品都能达到纳米或亚纳米级别的空间分辨率。采用镜筒内同步成像、信号过滤、复合透镜等技术,帮助提升性能,达到最佳的分辨率。


广泛的样品适用性

对于多种样品类型都有极佳的样品灵活性,包括绝缘体、敏感材料、磁性材料等等。这样的灵活性帮助用户获取感兴趣样品的更多的数据。

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利用ColorSEM技术实时获取定量能谱数据

只需指尖轻轻点击就可以获取元素信息,实现实时定量面分布,带来前所未有的体验与易用性。


快速简便的样品装载过程

标配的样品台可以一次性容纳多个样品,抽真空过程控制到最短时间,保证进样过程不浪费时间,更加便利地装载样品。同时配备自动插拔的压差光阑(PLA)可以实现高真空与低真空模式之间在毋须开样品仓的条件下一键切换。


高度自动化

高度自动化技术包含FLASH技术(用于自动图像微调)、撤销、用户教程、图像倾斜与拼接。


大工作距离成像

市场上唯一的在大工作距离(10mm)下仍然保持高空间分辨率(1nm)性能和优异的图像质量的扫描电镜,即使对于新手用户,也极易上手操作。



场发射扫描电镜Apreo SEM规格


Apreo 2 S

Apreo 2 C

分辨率

  • 30kV下0.7nm(STEM)

  • 15kV下0.5nm(样品台减速)

  • 1kV下0.9nm

  • 1kV下0.8nm(样品台减速)

  • 1kV下1.0nm(工作距离10mm,样品台减速)

  • 500V下0.8nm(样品台减速)

  • 200V下1.2nm(样品台减速)

  • 30kV下0.7nm(STEM)

  • 15kV下0.9nm(样品台减速)

  • 1kV下1.2nm

  • 1kV下1.0nm(样品台减速)

  • 500V下1.2nm(样品台减速)

标配探测器

  • ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

  • ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

PivotBeam

  • 选区电子通道衬度模式(也称为“摇摆光束“模式)。

  • 不适用

选配探测器

  • DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼光谱、EBIC 等

ColorSEM技术(选配)

  • 基于能谱仪(EDS)实时定量数据对扫描电镜图像进行着色。可提供的数据包含点分析、线扫描、面扫描、谱图结果及可靠的Noran定量结果

着陆能量范围

  • 20 eV – 30 keV

样品台偏压(样品台减速)

  • -4000V~+600V

低真空模式

  • 选配:样品仓气压范围10-500Pa

样品台

  • 五轴电动马达台,XY轴行程范围110x110mm2,倾斜范围-15°~+90°,最大样品重量:5kg(不倾斜)

最大束流

  • 50 nA(选配 400 nA)

标准样品台

  • 一款多功能样品台,可以容纳18个标准钉台(φ12mm),有三个预倾斜桩,截面样品台和两个STEM载位

样品仓

  • 340mm内宽,12个端口,最多同时安装三个EDS(两个互为180°),EDS、EBSD共面安装并与样品台的倾转轴正交



Apreo

功能最为丰富的高性能 SEM


Apreo 复合透镜结合了静电和磁浸没技术,可产生前所未有的高分辨率和材料对比度。


Apreo 是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台,而不会降低磁性样品性能。传统的高分辨率 SEM 透镜技术分为两类:磁浸没或静电。FEI 首次将两种技术结合到一个仪器中。这样做所产生的成效远远超过任一种镜筒的个体性能。两种技术均使电子束形成细小探针,以提高低电压下的分辨率,并使信号电子进入镜筒。通过将磁透镜和静电透镜组合成一个复合透镜,不但提高了分辨率,还增加了特有的信号过滤选项。静电-磁复合末级透镜在 1 kV 电压下的分辨率为 1.0 nm(无电子束减速或单色器)。


Apreo 拥有透镜内背散射探测器 T1,其位置紧靠样品以便尽可能多地收集信号,从而确保在很短的时间内采集数据。与其他背散射探测器不同,这种快速的探测器始终可保证良好的材料对比度,在导航时、倾斜时或工作距离很短时也不例外。在敏感样品上,探测器的价值凸现出来,即使电流低至几 pA,它也能提供清晰的背散射图像。复合末级透镜通过能量过滤实现更准确的材料对比度以及绝缘样品的无电荷成像,进一步延伸了 T1 BSE 探测器的潜在价值。它还提供了流行选项来补充其探测能力,例如定向背散射探测器(DBS)、STEM 3+ 和低真空气体分析探测器 (GAD)。所有这些探测器都拥有独一无二的软件控制分割功能,以便根据需求选择最有价值的样品信息。


每个 Apreo 都按标准配备各种用以处理绝缘样品的策略,包括:高真空技术,例如 SmartSCAN™、漂移补偿帧积分(DCFI) 和电荷过滤。对于最有挑战性的应用,Apreo 可提供电荷缓解策略。其中包括可选的低真空(最高为 500 Pa)策略,通过经现场验证的穿镜式差分抽气机构和专用低真空探测器,不但可以缓解任何样品上的电荷,还能提供绝佳的分辨率和较大的分析电流。


随着分析技术的使用越来越常规化,Apreo 仓室经过全新设计,以便更好地支持不同的配件和实验。仓室最多容纳三个 EDS/WDS 端口,可实现快速敏感的 X 射线测量、共面EDS/EBSD/TKD 排列并与(冷冻)CL、拉曼、EBIC 和其他技术兼容。


所有这些功能都能通过简单的样品处理和熟悉的 xT UI 获得,节省了新用户和专家级用户的时间。可自定义的用户界面提供了诸多用户指导、自动化和远程操作选项。



【技术特点对用户带来的好处】-- Apreo 2 SEM场发射扫描电子显微镜


【典型应用举例】-- Apreo 2 SEM场发射扫描电子显微镜


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