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透射电镜的​成像系统

2018.6.27
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JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

 成像系统

  由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜(1、2)和投影镜组成.

  1) 物镜:强励磁短焦透镜(f=1-3mm),放大倍数100—300倍。

  作用:形成第一幅放大像

  2) 物镜光栏:装在物镜背焦面,直径20—120um,无磁金属制成。

  作用:a.提高像衬度,b.减小孔经角,从而减小像差。C.进行暗场成像

  3) 选区光栏:装在物镜像平面上,直径20-400um,

  作用:对样品进行微区衍射分析。

  4) 中间镜:弱压短透镜,长焦,放大倍数可调节0—20倍

  作用a.控制电镜总放大倍数。B.成像/衍射模式选择。

  5) 投影镜:短焦、强磁透镜,进一步放大中间镜的像。投影镜内孔径较小,使电子束进入投影镜孔径角很小。

  小孔径角有两个特点:

  a. 景深大,改变中间镜放大倍数,使总倍数变化大,也不影响图象清晰度。

  b. 焦深长,放宽对荧光屏和底片平面严格位置要求。

  注意:有些电镜还装有附加投影镜,用以自动校正磁转角


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