成像系统
由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜(1、2)和投影镜组成.
1) 物镜:强励磁短焦透镜(f=1-3mm),放大倍数100—300倍。
作用:形成第一幅放大像
2) 物镜光栏:装在物镜背焦面,直径20—120um,无磁金属制成。
作用:a.提高像衬度,b.减小孔经角,从而减小像差。C.进行暗场成像
3) 选区光栏:装在物镜像平面上,直径20-400um,
作用:对样品进行微区衍射分析。
4) 中间镜:弱压短透镜,长焦,放大倍数可调节0—20倍
作用a.控制电镜总放大倍数。B.成像/衍射模式选择。
5) 投影镜:短焦、强磁透镜,进一步放大中间镜的像。投影镜内孔径较小,使电子束进入投影镜孔径角很小。
小孔径角有两个特点:
a. 景深大,改变中间镜放大倍数,使总倍数变化大,也不影响图象清晰度。
b. 焦深长,放宽对荧光屏和底片平面严格位置要求。
注意:有些电镜还装有附加投影镜,用以自动校正磁转角