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透射电子显微镜结构
透射电子显微镜的结构透射电子显微镜(TEM)是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。TEM用聚焦电子束作照明源,使用对电子束透明的薄膜试样,以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。
图1(a)(b)是两种典型的透射电镜的实物照片。透射电子显微镜的光路原理图如图2所示。
图1透射电子显微镜
图2透射电子显微镜的光路原理图、透射电镜电子光学部分示意图
透射电镜一般是由电子光学部分、真空系统和供电系统三大部分组成。