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透射电镜及选区衍射的发展趋势

2018.6.29
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JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

透射电镜及选区衍射的发展趋势 

 利用EELS精细结构研究电子结构[14];利用Z衬度,真正实现原子的化学成份的分辨;结合正、倒空间信息,进行三维重构,实现原子水平的空间分辨本领。最新进展:德国科学家利用计算机技术实现了对磁透镜进行球差矫正,可以实现零球差,以及负球差,从而大大提高了透射电镜的空间分辨本领,目前的最高点分辨率可以达到0.1纳米,估计5年内可以提升0.05纳米的。此外,通过在电子束照明光源上加装单色仪,可以大大提高电镜的能量分辨率,目前最高可以获得70毫电子伏特的水平。清华大学朱静院士率先在北京建立了基于球差矫正的高性能透射电镜的北京国家电镜中心,显示中国在这方面努力的信心。  随着透射电镜的不断向前发展,选区衍射会随着透射电镜分辨率的提高而不断的进步。目前,应努力解决电子衍射强度有时几乎与透射束相当,以致两者产生交互作用而导致衍射分析困难等问题;要解决因散射强度高而要求试样薄,难制备等问题;另外在精度方面也需要极大的提高。


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