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冷冻蚀刻电镜技术装置型号

2018.6.30
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JMCA

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装置型号

目前，冷冻蚀刻装置的型号很多，但主要分为两种类型:一种是专用冷冻蚀刻装置，如EIKO公司生产的FD2A型、FD3型，BALZERS公司生产的BAF300型;另一种是真空喷镀仪的冷冻蚀刻附件，如日立公司生产的HFZ1型，它与FE1型加温蚀刻装置一起安装在HUS5型真空喷镀仪中使用。以上两种类型各有优缺点，专用装置优点在于操作方便，能连续制样，效率高。缺点是价格贵;附件装置价格虽便宜，但不能连续操作，效率低。


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