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TEM制样聚焦离子束法

2018.6.30
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JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

聚焦离子束法


适用于半导体器件的线路修复和精确切割。


聚焦离子束系统（FIB），利用源自液态金属镓的离子束来制备样品。


通过调整束流强度，FIB可以对样品的指定区域进行快速和极精细的加工。其汇聚扫描方式可以是矩形、线形或点状。FIB可以制备供扫描透射电镜观测用的各种材料的薄膜样品。


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