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在伦琴发现X射线的早些年代里,不同能量的X射线是根据它们的穿透物质的能力来区分的。布拉格利用晶体衍射把不同波长的X射线区分开。莫塞莱利用此种方法得到了许多X射线谱,此种方法至今仍用于X射线的测量及研究。无论使用何种方法对X射线进行测量,都需要一个合适的X射线探测器。最早的探测器为盖格计数管,后改用正比计数器及闭烁计数器。七十年代初期,固体探测器经过短时间的发展和完善,目前已广泛用于X射线测量。X射线能谱仪可应用于矿物学的研究。
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