微区分析也是俄歇电子能谱分析的一个重要功能，可以分为选点分析，线扫描分析和面扫描分析三个方面。
这种功能是俄歇电子能谱在微电子器件研究中最常用的方法，也是纳米材料研究的主要手段。
（1）选点分析
俄歇电子能谱选点分析的空间分别率可以达到束斑面积大小。因此，利用俄歇电子能谱可以在很微小的区域内进行选点分析。
a. 在正常样品区，表面主要有Si, N以及C和O元素存在；
b. 而在损伤点，表面的C,O含量很高，而Si, N元素的含量却比较低；
c. 说明在损伤区发生了Si3N4薄膜的分解。
（2）线扫描分析
俄歇线扫描线扫描分析可以在微观和宏观的范围内进行（1～6000微米），可以了解一些元素沿某一方向的分布情况。
横坐标为线扫描宽度，纵坐标为元素的信号强度
（3）面扫描：元素面分布分析
可以把某个元素在某一区域内的分布以图像的方式表示出来。
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