粉体样品有两种常用的制样方法。一是用导电胶带直接把粉体固定在样品台上,一是把粉体样品压成薄片,然后再固定在样品台上。前者的优点是制样方便,样品用量少,预抽到高真空的时间较短;缺点是胶带的成分可能会干扰样品的分析,此外荷电效应也会影响到俄歇电子谱的采集。后者的优点是可以在真空中对样品进行处理,如加热、表面反应等,信号强度也比胶带法高得多;缺点是样品用量太大,抽到超高真空的时间太长,并且对于绝缘体样品,荷电效应会直接影响俄歇电子能谱的录谱。一般把粉体样品或小颗粒样品直接压到金属铟或锡的基材表面,可以固定样品和解决样品的荷电问题。对于需要用离子束溅射的样品,建议使用锡作为基材,因为在溅射过程中,金属铟经常会扩散到样品表面,从而影响样品的分析结果。
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