纳米划痕测试仪(10uN - 1N)
可以测试薄膜和基底的临界附着力，划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。可以进行微拉伸实验。可实时记录摩擦力及摩擦系数的变化，以及用于纳米磨损测试。
瑞士CSM的纳米划痕仪主要用于界定膜基结合强度与薄膜抗划痕强度，适用的薄膜厚度一般低于800纳米。纳米划痕仪可以用于多种薄膜材料的检测分析，例如单层或多层PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性涂层等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物、以及有机材料等。
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