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随着材料科学的迅猛发展,新型功能材料的研究开发越来越受到重视,特别是一些同素异性体材料,如碳物种(C60,碳纳米管,金刚石薄膜等)材料以及具有特殊结构和性能的简单化合物材料,如碳化物、硅化物、氮化物及硼化物等功能材料。由于这些功能材料的化学结构相近,并主要以功能薄膜形式存在,利用现有电子能谱的常规分析方法很难对存在元素的化学状态、化合物种的形成、化学键的结合。