利用各种形状的金刚石、蓝宝石探针，对样品表面微区进行压入或划入，可获得材料微区的硬度、折合模量、摩擦系数等，并能对压痕和划痕的表面形貌进行原位快速扫描成像。有纳动态力学分析（DMA）功能，可测粘弹性材料、金属、陶瓷的存储模量、损失模量、tanδ、振幅、相位、存储刚度、损失刚度、复合模量等。
主要应用于测试各种薄膜（包括厚度小于100nm的超薄膜、多层复合膜、抗磨损膜、润滑膜、高分子聚合物膜、生物膜等）、多相复合材料的基体本构和界面、金属阵列复合材料、类金刚石碳涂层（DCL）、半导体材料、MEMS、生物医学样品（包括骨、牙齿、血管等）和生物材料等在纳米水平上的力学特性。
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