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EDS检测纳米线黑森林

2018.7.30
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JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

纳米线黑森林

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来看看GaAs/GaInP纳米线形成的黑森林SEM照片。纳米线分两步长成：树干GaAs通过金属有机物气相外延法（MOVPE）使用金颗粒作为种子。取出反应容器中的样品，并在样品表面喷一层HSQ抗蚀剂。第二步MOVPE 制备GaInP时，抗蚀剂可以阻止GaInP在GaAs上生长。图片经过人工染色，但是基于EDS检测，浅绿色代表GaInP，浅棕/红色部分为GaAs。底部和基材部分的GaAs纳米线为深绿色，表示该区域检测到较多的抗蚀剂。


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