EFM是一种利用测量探针与样品的静电相互作用，来表征样品表面静电势能，电荷分布以及电荷输运的扫描探针显微镜。扫描式电场力显微镜利用LiftMode operation (提升操作)功能，首先将可导电之探针在第一次扫描时，以Tapping Mode AFM 的振幅用来量测表面高低，在Lift 第二次扫描时，振幅受到现有表面电场变化，依Lift 提升高度而变更，此变化可为雷射光侦测器得知，此差异讯号可用来判断表面电荷分布，扫描时同时得到表面形貌及电荷分布图像，如图8所示。但是此方式无法得知电压大小，欲知电压大小，须用Surface Potential Meter 方式测量。
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