a)点击实验方案选择图标,打开界面;
b)选择实验具体模式,Tapping Modee;
c)选择实验环境Air进入实验界面;
d)根据上面提到的步骤,调整激光,并将Head靠近样品表面以看清样品;
e)点击 “Check Parameters” 图标;
f) 设定以下扫描参数:Scan size小于 1 um,X offset和 Y offset设为0;
g)Scan angle 设为 0;
h)Tapping模式需找探针固有振动频率。点击“Auto Tune”,可以得到探针的共振峰;i)点击 Engage进针;
j)进针结束开始扫图,将Scan size 设置成要扫的形貌大小;
k)观察Height Sensor图中观察Trace和Retrace两条曲线的重合情况;
l)优化Setpoint。在 Tapping模式下,调节Amplitude setpoint直到Trace和Retrace两条扫描线基本一致;
m)优化Integral gain和 Proportional gain,一般的调节方法为:增大 Integral gain,使Trace和Retrace曲线开始震荡,然后减小 曲线开始震荡,然后减小Integral gain直到震荡消失,接下来用相同的办法调Proportional gain。通过调节增益来使两条扫描线基本重合并且没有震荡;
n)调节扫描范围和速率。随着的增大,必须相应降低调节扫描范围和速率;
o)如果样品很平,可以适当减小Z Range的数值,这将提高 Z方向的分辨率。