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压电陶瓷管扫描器的作用
压电陶瓷管扫描器载着样品在X-Y平面内做微小运动，样品到针尖的距离会随着样品表面形貌的变化而变化，该距离的变化将改变样品和针尖之间的原子力，原子力的变化会使得悬臂梁产生法相形变。
通过激光反射路径的变化检测出微悬臂梁的反向形变程度，相应调整Z向压电陶瓷保证样品和针尖的原子力保持恒定。
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