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AFM应用举例
由于原子力显微镜对所分析样品的导电性无要求,因此使其在诸多材料领域中得到了广泛应用。
透明导电的ITO薄膜,随着成膜方法、膜厚、基底温度等成膜条件变化,而表面形貌不同。将膜厚120nm(左)与450nm(右)的ITO薄膜进行比较时,随着膜厚的增加,每个结晶颗粒明显地长大。另外,明显地观察到溅射生长法特有的晶粒-亚晶粒结构。