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在进行扫描电镜(SEM)分析时,为了获得感兴趣区域zui佳的图像效果,必须考虑一些重要的参数。其中一个很重要的参数就是加速电压,它是加在电子枪的阴极和阳极之间,用来加速电子产生电子束的。加速电压的选择与样品的导电性、放大倍数及图片质量等因素有关。一般来说,加速电压越高,图像的分辨率越高。
在zui近几年,扫描电镜(SEM)厂商已经开始致力提高低电压成像的分辨率。低电压成像技术主要应用于生命科学领域,特别是在获得诺贝尔奖的冷冻电镜技术问世之后。这篇博客将集中讨论加速电压对分析图像的影响。