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加速电压对扫描电镜成像的影响

2018.8.22
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JMCA

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加速电压对扫描电镜成像的影响

 

加速电压对于BSE和SE成像的影响是类似的:低加速电压能够得到样品表面更多的细节;而在高加速电压下,图像的分辨率提高,但由于穿透效应,样品的表面细节减少,有利于忽略样品表面的一些细小污染物。这可以在下面的图片中看到,在低加速电压下,样品表面的污染物清晰可见,而高加电压的图像表面污染物“减少”。

对于不同性质的样品,选择合适的加速电压非常重要。生物样品、聚合物以及其他有机样品都对高能量的电子非常敏感。由于SEM在真空中运作,这种敏感性进一步增强。这就是SEM厂商致力于开发低电压下成像技术的原因,这样的话即使是zui精细、对电子束能量敏感的样品也能拍出比较好的图像。

 

在这一过程中遇到的主要困难是成像技术背后的物理原理:与摄影相似,存在几种可能的因素会影响zui终输出的图像质量,如畸变和像差。随着电压升高,获得的信号量也变多,色差的影响逐渐减小,这也是为什么之前SEM的趋势是利用尽可能高的电压以提高成像分辨率的主要原因。


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