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如何在SEM下调整束斑直径

2018.8.22
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JMCA

致力于为分析测试行业奉献终身

如何在SEM下调整束斑直径

 

描述SEM中电子束性质的四个主要参数如图1所示:

 

  1. 使电子在电镜腔室中运动的加速电压

  2. 电子束的会聚角

  3. 轰击样品的电子束流大小

  4. 到达样品表面的zui终束斑直径。


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