扫描电镜 SEM 都产生了哪些电子？
电子与样品的相互作用会产生不同种类的电子、光子或辐射。对于扫描电镜 SEM 来说，用于成像的两类电子分别是背散射电子 (BSE) 和二次电子 (SE)。背散射电子来自于入射电子束，这些电子与样品发生弹性碰撞，其中一部分反弹回来，这就是背散射电子。另一方面，二次电子则来自于样品原子：它们是入射电子与样品发生非弹性碰撞所产生的。
BSE 来自于样品的较深层区域，而 SE 则产生于样品的表面区域。因此，BSE 和 SE 代表不同的信息。BSE 图像对原子序数差异非常敏感：材料的原子序数越大，对应在图像中就越亮。SE 图像可以提供更丰富的表面信息——如图3 所示。在许多显微镜中，X 射线检测也被广泛用于进行样品的元素分析，这种射线产生于电子与样品的相互作用。每种元素产生的 X 射线都有特定的能量，X 射线就相当于元素的指纹。因此，通过检测未知组分的某样品出射的 X 射线的能量，就可以确定该样品所包含的各种不同元素。
首页
