扫描电镜的相对极限适用表征形貌标准--结构特征放大到3-6mm ，能看出基本外形和结构特征。仪器观测条件需要发挥到相对极限。操纵难度高，需要极大耐心丰富的操纵经验。
场发射大型扫描电镜有效表征：20nm-40nm 对应倍数15万-30万倍 对应观察视野宽度 800nm--400nm
六硼化镧大型扫描电镜有效表征：40nm-80nm 对应倍数7.5万-15万倍 对应观察视野宽度 1.6μm--800nm
钨灯丝大型扫描电镜有效表征：60nm-120nm 对应倍数5万-10万倍 对应观察视野宽度 2.4μm--1.2μm
小型桌面台式扫描电镜有效表征：400nm-800nm 对应倍数 7500x-15000x 对应观察视野宽度 16μm--8μm
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