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奥林巴斯生物显微镜有一个结构比较待殊的聚光镜

2018.8.24
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JMCA

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奥林巴斯生物显微镜表承扫描电镜镜筒中的电于光路。可以看出各级透镜处都有固定光闹,其孔径约为2mm。它们的作用是挡掉—大部分无用的电子,为防止它们在镜筒个引起漏电或其他麻烦,末透镜处还有一个可更换光闹,通常有三或四个不同孔径(50一150Fnl)的光闹排列在光嗣板上以供选用。顺便指出,图中各级光阑的尺寸并不符台真实比例,只是定性表示它们的作用。可更换光阑的孔径比固定光阑小得多,它的作用在于改善图像质量。由于电子枪发射的电子流经各级光阅片的拦截,所以到达样品处的电子流数量极微。奥林巴斯生物显微镜有一个结构比较待殊的聚光镜。列几个因素。在它的设计中要求考虑如下:

首先,透镜内膛应有足够空间以便容纳扫描线圈和消像散器等组件。

其次,团聚光镜的缩小作用使各级透镜处的物距Pj远大于其像距q,故惨距近似等于焦距在高分辨工作中为减小象差,扫描电镜末透镜的焦距应尽可能短。这就要求样品几乎应直接放在透镜极靴下面。

第三,为了有效收集二次电子,而二次电子的能量仅为数ev,所以样品必须处于弱磁场区。这就要求物镜磁场在极靴孔以下能迅速减弱,而收集二次电子的探测器必须对准并靠近样品。

综合以上各点,奥林巴斯生物显微镜的当前扫描电镜的韧镜都采用非对称型结构(见图3—3),即上极靴孔直径(例如40mm)比厂极靴孔直径(如4mm)大得多。在透镜内膛中设置两组扫描线圈5、和5z(每组含f和y两方向的偏转线圈)。下极靴面到样品中心的垂直距离通常称为工作距离W。图中的2是电子束的等效投影中心。这种结构的透镜所产生的磁场强度在下极靴的上、下平面处相差约100倍。

前面已经提到,末光闲的引入是为了改进图像质量,包括图像的分辨率和景深。奥林巴斯生物显微镜由于扫描电镜采取的是逐点成嫁原理,因此不难想象对样品的分辨串与样品上束斑的大小有关。电子透镜中的球差、色差、衍射差等因素,使实际柬斑比理想柬斑更大。从亮度不变原理可以知道,当束流一定时。束班的大小受末透镜对样品所张的有效孔径角oP所制


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