便携式原子力显微镜
摘要：在薄膜太阳能工业区域粗糙度参数总是需要在控制中，因为它们与电池的电效率紧密相关。在这项工作中，我们在太阳能工业典型的制造车间中测量和评价粗糙度参数。测量使用的是Nanosurf easyScan 2 便携式原子力显微镜，这台仪器放置在CNC金刚石切割设备上，设备上有一被切成四块的透明导电氧化物薄膜的初始样品。通过在这个过程中得到的结果与在实验室zui佳条件下得到的结果比较，证明了车间在线测量的方法是可行的。区域粗糙度参数和傅里叶光谱分析的数据具有一致性，表明使用这种类型的测量工具进行在线质量控制是可行的。这个实验测量评价过程对样品的TCO是无任何破坏的；这样100%的产品能被测试，因此改进了测量时间和成品率。
关键词：表面精密测量法；原子力显微镜；太阳能电池；透明导电氧化物膜；区域粗糙度
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