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几何修差

2018.9.18
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JMCA

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几何修差

当电子轨迹不满足倍铀条件时所形成的像差称为几何像差。已知倍轴条件归结为两点，即（一）轨迹的径向离轴位置（r）很小；（二）轨迹相对于轴的斜率或电子束对轴的倾角也很小。几何像差来自这些量并非无限小。研究指出，影响zui重要的是三级倍差，即实际像点的偏离正比于这些量的三级项者。它们是球差（正比于小）、当形差（正比于M’）、场曲和像散（正比于rz“）和畸变（正比于r3）。电镜中我们只关注*种和第四种几何像差。


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