原子荧光光谱仪分非色散型原子荧光分析仪与色散型原子荧光光度计。这两类仪器的结构基本相似，差别在于单色器部分。两类仪器的光路如图：
1 激发光源
可用连续光源或锐线光源。常用的连续光源是氙弧等，常用的锐线光源是高强度空心阴极灯、无极放电灯、激光等。
2 原子化器
原子荧光光谱仪对原子化器的要求与原子吸收光谱仪基本相同。
3 光学系统
光学系统的作用是充分利用激发光源的能量与接收有用的荧光信号，减少和除去杂散光。
4 检测器
常用的是光电倍增管，在多元素原子荧光光谱仪中，也用光导摄像管、析像管做检测器。检测器与激发光束成直角配置，以避免激发光源对检测器原子荧光信号的影响。
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