1. 20世纪90年代
Manz、Harison等人开展早期的芯片电泳研究,并提出了微-全分析系统(μ-TAS)的概念。
2. 1994
Ramsy等在Manz的研究基础上,改进了芯片毛细管电泳进样方法,提高了其性能,同年,首届μ-TAS会议在荷兰召开。
3. 1995
首家从事微流控技术的Caliper公司成立,相关企业微流控技术研发也在紧密进行。
4. 1998
Whiteside提出用PDMS制作芯片的快速模板复制法
5. 1999
HP(Agilent)和Caliper公司联合推出首台微流控芯片商品化仪器,最早应用于生物分析和临床分析领域。
6. 2000
软光刻实现芯片上微阀、微泵。
7. 2001
创办期刊Lab on a Chip,专门用于收录微流控技术研究类文章。
8. 2002
微流控芯片大规模集成实现。
9. 2003
微流控技术被Forbes杂志列为“未来15年内影响人类最深“的发明之一。
10. 2004
微流控技术被Bussiness2.0杂志称作“改变未来的7种技术”之一。