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ICP原理

2019.10.14
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liupan1991

致力于为分析测试行业奉献终身

当高频发生器接通电源后,高频电流I通过感应线圈产生交变磁场(橙色)。

开始时,管内为Ar气,不导电,需要用高压电火花触发,使气体电离后,在高频交流电场的作用下,带电粒子高速运动,碰撞,形成“雪崩”式放电,产生等离子体气流。在垂直于磁场方向将产生感应电流(涡电流,兰色),其电阻很小,电流很大(数百安),产生高温。又将气体加热、电离,在管口形成稳定的等离子体焰炬。

在由三个同心石英管外套装一个高频感应线圈,感应线圈与高频发生器连接。

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