高温烧结炉的几种常见故障应对措施

　　高温烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备。下面详解高温烧结炉的几种常见故障应对措施：

　　一、冷却水异常

　　1、确认加热电源已停止。

　　2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

　　3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

　　4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

　　二、压缩空气的停止

　　1、压缩空气异常报警时，设备处于停止状态，应尽快到备用的压缩机房，让其恢复工作。

　　2、真空中如压缩空气异常报警，且恢复需要较长时间时，则终止真空，让设备停下来。

　　三、停电

　　1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

　　2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

　　3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。

　　四、加热电源掉电

　　1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。

　　2、接地故障。

　　3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。

　　4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

　　五、充气气体(氩气或氮气)停止

　　1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。

　　2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

　　3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

　　4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。