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致力于为分析测试行业奉献终身
缘由: 1、炉盖垫圈老化; 2、炉体具有透气; 3、电子管道、阀门密封不良; 4、栅极处密封性差; 5、热电偶插人孔密封不良; 6、真空规特拔出处密封不好; 7、备用孔密封不良;处理办法: 1、改换炉盖垫圈; 2、审查炉体并消弭漏孔; 3、审查真空系统密封状况; 4、贡新干净、装置栅极; 5、从新装置热电偶; 6、审查并从新装置真空规管; 7、审查备用孔密封。