微阀：凡是能控制微通道闭合和开启状态的部件，并具有低泄漏，低功耗，响应快，线性操作等性能，均能作为微流控芯片中的。
微反应器：是一种单元反应界面为微米级的微型化学反应系统，随着微反应器线性尺度的减小，对化学反应非常重要的浓度，压力，密度，温度等梯度很快得到增加，从而使混合和反应时间缩短到毫秒级以下。
微混合器：生物样品分析如DNA杂交，酶反应，蛋白折叠等均涉及到样品的快速均匀混合，反应物的混合程度直接影响着反应的速率和产物的得率；微通道中通道较短，体积较小，反应时间很短，反应相对难以完成，所以快速均匀混合显得尤其重要，因此微混合器也就成为微流控集成设计的重要组成部分。
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