电子与晶体物质作用可以发生衍射，对晶体样品的成像过程，起决定作用的是样品对电子的衍射。由样品各处衍射束强度的差异形成的衬度称为衍射衬度。
衍衬像大体可分为两类：当完整晶体存在一定程度不均匀性。例如厚度或取向的微小变化，这时衍衬像上呈现一组明暗相间的条带，称为等厚或等倾消光轮廓；若无厚度或取向变化，则为均匀的衬度；另一类是含缺陷晶体的衍衬像，其像衬随缺陷的类型和性质不同而异。
非晶样品透射电子显微图像衬度是由于样品不同微区间存在的原子序数或厚度的差异而形成的，即质量厚度衬度（质量厚度定义为试样上表面单位面积以下柱体中的质量），也叫质厚衬度。质厚衬度适用于对复型膜试样电子图象作出解释。质量厚度数值较大的，对电子的吸收散射作用强，使电子散射到光栏以外的要多，对应较暗的衬度。质量厚度数值小的，对应较亮的衬度。
其本质上是一种散射吸收衬度，即衬度是由散射物不同部位对入射电子的散射吸收程度有差异而引起。它与散射物不同部位的密度和厚度的差异有关。
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