测量显微镜，历史上是以准确的倍率把工件形状放大以后，通过与模板进行象面比对，进行测量、检查的显微镜。为此，与通常的观察用显微镜不同，它采用与轮廓投影仪相同的远心光路系统，其物镜倍率也很准确。
检查的主要项目
(1)仪器安装和使用，应对周围环境的安全性进行检查，电源、电压、LED光源、接地线等是否正确、牢固，应符和要求。
(2)仪器主要部件运动性能检查：
仪器工作台、纵、横滑板导轨、测微器、显微镜臂架导轨升降，测角度盘转动等部件，经目力观察和手动试验，必须确认结构安装可靠，位置准确，运转性能应舒适完好，无松动阻滞和急跳现象存在。
(3)测角目镜的检查
a.测量显微镜测角目镜零位的检查：
b.测量显微镜测角目镜十字线交点与其迥转中心重合性的检查;
注意事项
1、精密计量仪器的使用、维护是技术性较强的工作，对操作人员应进行专业技能培训，掌握必要的操作技能和建立必要的工作检查制度。
2、对仪器要注意正确合理安排使用。仪器的存放地点应避免灰尘、潮湿、气温突变或含有酸碱性的气体环境。
3、仪器的光学部件有：目镜、物镜、玻璃工作台等，光学零件的表面油污灰尘清洁，可用脱脂棉花蘸以少许酒精和乙醚混合液，轻轻揩拭，切勿将镜片擦毛。
4、仪器维护、保养、调试，未经技术培训不具备专业技能的人员不得随意拆卸调试和清洗加油。若需修理调试，可向当地经销商或直接和我公司。
5、电源系统出现故障，需先切断电源，再进行检查。透射照明灯泡需要*换灯泡，拆除底盖，进行检查*换。
测量显微镜等精密计量仪器都要注意保养和维护。
近来随着测量显微镜光学系统制作倍率的*加准确，也可以组合使用具有高倍率观察、微分干涉观察、简易偏光观察等功能的通用型光学头。在高倍率观察时，还可以使用FA（辅助对焦）镜筒进行高度测量，可以通过缩小视在的景深，提高Z轴方向测量的重复精度。测量显微镜配上数码相机，还可以拍摄数码相片。多种选配功能，使得测量显微镜的应用越来越广。
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