当电磁波垂直射入局部光滑目标表面时，在其后向方向上产生很强的散射回波，这种散射称为镜面反射，它是强散射源。当电磁波入射到目标边缘棱线时，散射回波主要来自于目标边缘对入射电磁波的绕射，它与反射不同之处在于一束入射波可以在边缘上产生无数条绕射线，是重要的散射源。
对于无隐身措施的常规飞机，它的散射场包括反射和绕射场，主要是镜面反射和边缘绕射起作用。对于隐身飞机，采取多种措施，使镜面反射和边缘绕射基本消失。
相对复杂的目标的RCS可通过几种不同的逼近方法进行测算。例如：几何光学法(GO)，假定射线沿直线传播，利用经典的光线路径理论；物理光学法(PO)运用平面切线的近似并通过惠更斯原理计算RCS；几何衍射理论(GTD)是一个合成系统，该系统建立在GO和衍射线的概念综合的基础上。
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