1、日维护
每班12小时维护检查氢气供给、供电是否正常，检查氩气排出系统是否畅通。清理火花台，每2小时校验标样，做好标准化，检查激发斑点的好坏。光谱仪使用的电极是钨棒电极，钨棒电极在激发金属材料的试样时，在火花台内容易产生黑色沉淀物，而这种沉淀物可导致电极与火花台之间短路，因此要对火花台和电极进行清理，每激发一个试样前须用软纸擦净火花台,再用电极刷擦净电极，每次分析之后再次清理电极。清理时注意电极刷不要损伤分析架和分析孔的边缘。定时检查电极，如果电极头变圆，或电极断裂，就必须更换。更换时拧紧螺钉，电极自动抬高，然后可以用手指或钳子将它取出。电极的调整可以用一个3mm间隙的量规来进行：用一只手按住量规，把电极往圆筒体内推，然后拧紧螺丝。每班要用干净抹布擦净仪器外壳,用吸尘器清理净火花台面和废氩排出口的尘物, 及时打扫机房内卫生。
2、周维护
电极与样品的放电在火花室内发生，因放电燃烧样品材料，留下灰尘样的黑色沉积物。必须定期清理火花室,清理火花台前,先关闭光源。然后拧下火花台前的电极定位螺杆,卸下火花台板,小心取出火花室内圆石英垫片,再用吸尘器清理火花室的黑色沉积物.清理火花室内部后,安装火花台板时要用中心距定好中心,再拧紧固定螺丝,然后用电极定距螺杆调整好电极距。将所有部件放回原位置，并将样品放到火花架上盖住分析孔。
注意事项：
（1）检查一下分析支撑块的O形密封圈是否放回原位；
（2）是否正确地把支撑架的前部插在入射能道的端部附近；
（3）拧紧分析架的螺丝，不需太用力，否则说明这些部件中某一件位置不对；
（4）用随仪器提供的量规检查电极高度调整量。正常拧紧夹紧螺丝，不要用力。
（5）用一样品盖住分析孔。、
3、月维护，月以上维护由技术人员进行。
3.1
每一、两个月应清理透镜一次，取下透镜的步骤：
(1) 按清理激发台火花室的操作将激发台取出，将激发台档板里侧的光路开关由开) 的位置(Open)用手完全拨到关的位置(Close)。
(2) 用手小心将光路部分向外拔出。不要过分弯曲附在光路通道上的细铜管。(必须小心，缓慢)。
(3) 拧松锁紧夹，稍稍旋转拉出透镜座。用绸布蘸取酒精小心擦拭，或用流水冲洗，注意不要用硬物擦伤碰透镜。
(4) 擦完透镜后，先将透镜装回原位，注意将透镜底座的两个开口部分对准使它的螺丝头面低于透镜底座或保持在同一平面，否则透镜装不合适。
(5) 把光路开关由关Close 完全拨到开Open 的位置，然后把光路部分小心装上。
(6) 按顺序将激发台及火花室部分装好。zui后别忘记用量规调整电极的距离，当透镜清理干净后，别再用手指触及他的表面。
3.2
更换或清洁滤尘器位于仪器后部的滤尘器应每月清理一次，原则上用吸尘器清理，也可以用水冲洗。再自然吹干。在条件允许的条件下，每年更换新的滤尘器。
3.3抽真空系统的检查和维护
每月至少检查真空泵油液面高度一次，如果低于警示线，就加油。油和真空泵垫圈一般应每半年更换一次。隔膜和阀是真空系统容易磨损的部件，应每年更换一次。隔膜更换时，先去下两个泵头之间的真空管路，拧松固定螺丝后取下隔膜头、护析、星型垫圈、隔膜和盖板。转动配重，装上护析、星型垫圈、隔膜后均匀用力拧紧螺丝。阀的更换，按上述步骤取下隔膜头、顶班、密封圈，更换弹簧钢片阀，检查一下泵能否自由运行。抽高真空的分子泵及易损坏，只能在断电后完全停止下来才能处理。其轴承需要每年润滑一次。
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