常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流注入机、高能注入机和中束流注入机，如下表所示：
| 离子注入机类型 | 能量范围 | 注入剂量范围 | 工艺中的主要应用 |
| 低能大束流离子注入机 | 0.2keV~100keV |  | 超浅结、源漏注入、多晶硅栅极注入等 |
| 高能离子注入机 | ~MEV |  | 深埋层等 |
低能大束流离子注入机：大束流的注入机的束流可以达到几毫安甚至几十毫安，注入剂量范围 。能量低于100keV，由于器件的特征尺寸不断缩小，需要更低能量的注入，以形成浅结或超浅结，有的大束流的注入机的最低能量可以达到0.2keV。
高能离子注入机：高能注入机的能量可高达几MeV，注入剂量为 。
中束流离子注入机：中束流注入机的注入能量在几百keV范围内，注入剂量范围比高能注入机大
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